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레이저 간섭계와 X-선 간섭계의 원리 및 응용
대한기계학회지
1992 .05
레이저 간섭계를 응용한 비접촉 진단기법
조명·전기설비
2003 .04
레이저 간섭계를 이용한 표면마찰력 측정에 관한 연구
한국항공우주학회 학술발표회 초록집
1995 .04
변위 각도 동시 측정용 복합 레이저 간섭계의 제작과 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .06
반도체산업의 Nanometer화와 우리의 과제
전자진흥
1986 .01
Nanometer Order의 가공기술 현황과 미래
기계와 재료
1991 .01
X선 간섭계를 이용한 초정밀 측정
기계저널
1998 .05
Fabrication of Nanometer Scale Structure Using Thin Film Stress
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
초정밀 스테이지 요소 기술 : 공압베어링과 레이저간섭계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .10
레이저 간섭계의 측정 정밀도 향상을 위한 알고리즘 개발
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2007 .05
Reliable Power Gating Structure in Nanometer Technology
한국산업정보학회 학술대회논문집
2014 .01
Iterated Adaptive Fading Kalman Filter를 이용한 레이저 간섭계 정밀도 향상
정보 및 제어 논문집
2010 .04
레이저간섭계와 미터표준
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .06
광위상변도기를 이용한 광섬유형태의 고속 광간섭계
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
Alloy phase formation in isolated nanometer-sized particles
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
Challenges and Solutions for Nanometer SOC Designs
대한전자공학회 ISOCC
2004 .10
게이지 블록 간섭계의 선진화 및 완전 자동화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .06
레이저간섭계를 이용한 길이오차 측정 및 보정기술 ( Positioning Error Measurement and Compensation Using Laser Interferometer )
대한기계학회지
1994 .03
레이저에 의한 에너지 개발
전기의세계
1987 .08
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