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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 韓國精密工學會 2000年度 春季學術大會 論文集(Ⅱ)
발행연도
2000.5
수록면
692 - 695 (4page)

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ABSTRACT
1. 서론
2. 테이블 운동오차 예측
3. 실험 방법 및 결과
4. 결론
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