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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2002년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2002.10
수록면
128 - 131 (4page)

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ABSTRACT
1. 서론
2. 간섭광학계
3. 형상 측정 및 결과 해석
4. 결론
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