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자료유형
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저널정보
한국소성·가공학회 소성·가공 소성가공 제11권 제7호
발행연도
2002.11
수록면
596 - 600 (5page)

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목차

Abstract
1. 서론
2. MEMS의 초음파 접합공정
3. 결과 및 고찰
4. 결론
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