전자빔 묘화를 이용한 초미세 패턴 식각연구

김명제 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

전자빔 묘화를 이용한 초미세 패턴 식각 연구 ( A Study on the Submicron Etching With Electron-Beam Writing )

김명제 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

전자 빔 주사를 이용한 미세 전자소자의 정전 용량 측정방법

김승재 ,  이강민 ,  김동환

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .12

( 주 ) 서한전자

장인철

CAD 및 VLSI 설계연구회지

1994 .01

주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 소프트웨어 설계

임선종 ,  이찬홍

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .11

스테퍼와의 혼합 묘화를 위한 전자 빔 직접 묘화 기술에 관한 연구 ( A Study of the Electron-beam Direct Writing Technique for Mix-and-Match with Stepper )

이상보 ,  유상기 ,  김여환 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .05

전자빔 가공을 위한 전자빔 광학 해석에 관한 연구

이응기

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2008 .03

전자빔 가공기의 지능형 원격 빔 조절 기능의 개발

임선종 ,  유준

한국생산제조학회지

2006 .04

전자빔 가공기에서 최적 빔 주사를 위한 제어기의 개발

임선종 ,  이찬홍 ,  강재훈

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

S-100기반 차세대 전자해도 뷰어 개발 연구

강동우 ,  오세웅 ,  정중식

한국지능시스템학회 학술발표 논문집

2016 .04

전자 빔 주사를 적용한 미세 패턴의 capacitance 측정방안

김승재 ,  김동환

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .04

삼층감광막구조를 이용한 미세패턴의 전자빔 묘화 ( Submicron Patterning in Electron Beam Lithography using Trilayer Resist )

배용철 ,  서태원 ,  전국진

전자공학회논문지-A

1994 .10

마이크로 전자빔 시스템을 위한 전자광학렌즈의 제작에 의한 나노 패턴 형성 ( Nano-scale pattern delineation by fabrication of electron-optical lens for micro E-beam system )

이용재 ,  박정영 ,  전국진 외 1명

전자공학회논문지-D

1998 .09

SEM의 전자빔을 이용한 회로패턴 개방 / 단락 검사 ( Open / Short Testing of Circuits with Electron Beams of a Scanning Electron Microscope )

김준일 ,  신준균 ,  한상권 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

SEM의 전자빔을 이용한 회로패턴 개방/단락 검사

김준일 ,  신준균 ,  한상권 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성

임선종 ,  이찬홍

한국생산제조학회지

2008 .10

우리의 전자기술 어디까지 왔나?

김정흠

전자진흥

1983 .01

전계방출 주사전자 현미경의 전자광학계 수치해석

박근 ,  박만진 ,  김동환 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .06

전자빔용접시스템 ( Electron beam welding system )

윤종원

대한용접·접합학회지

2000 .10

레이저 직접묘화법(Laser Directing Writing)을 이용한 미세패턴 금속화 기술

박정호 ,  이제훈 ,  한유희

기계와 재료

1999 .01