대칭형 2자유도의 폴리실리콘 공진 구조체에 대한 진동특성 분석

홍윤식; 이종현; 김수현

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자료유형: 학술저널

저자정보: 홍윤식 이종현 김수현

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제17권 제11호

발행연도: 2000.11

수록면: 81 - 87 (7page)

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