나노인덴테이션 공정을 이용하여 극미세 패턴을 제작하기 위한 나노변형의 유한요소해석(Ⅱ)

이정우; 윤성원; 강충길

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이정우 윤성원 강충길

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제20권 제9호

발행연도: 2003.9

수록면: 47 - 54 (8page)

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