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논문 기본 정보

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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제3호
발행연도
2004.3
수록면
139 - 146 (8page)

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In this study, to achieve the optimal conditions for mechanical hyper-fine pattern fabrication process, deformation behavior of the materials during indentation scratch test was studied with numerical method by ABAQUS S/W. Brittle materials (Si, Pyrex glass 7740) were used as specimens, and forming conditions to reduce the elastic recovery and pile-up were proposed. The indenter was modeled as a rigid surface. Minimum mesh sizes of specimens are 1-10㎚. Variables of the nanoindentation scratch test analysis are scratching speed, scratching load, tip radius and tip geometry. The nano-indentation scratch tests were performed by using the Berkovich pyramidal diamond indenter. Comparison between the experimental data and numerical result demonstrated that the FEM approach can be a good model of the nanoindentation scratch test. The result of the investigation will be applied to the fabrication of the hyper-fine pattern.
#Nanoindentation(나노인덴테이션) #Scratch test(스크래치 실험) #Pile-up(파일업) #Hyper-fine pattern(극미세 패턴) #Elastic recovery (탄성회복)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 나노스크래치 실험 및 FEM 모델링
3. 결과 및 검토
4. 결론
후기
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