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저널정보
Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of the Korean Society of Precision Engineering Vol.5 No.3
발행연도
2004.7
수록면
62 - 68 (7page)

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Effectiveness of a corrective machining algorithm, which can construct the proper machining information to improve motion errors utilizing measured motion errors, is verified experimentally in this paper. Corrective machining process is practically applied to single and double side hydrostatic bearing tables. Lapping process is applied as a machining method. The machining information is obtained from the measured motion errors by applying the algorithm, without any information on the rail profile. In the case of the single-side table, after 3 times of corrective remachining, linear and angular motion errors are improved up to 0.13 ㎛ and 1.40 arcsec from initial error of 1.04 ㎛ and 22.71 arcsec, respectively. In the case of the double-side table, linear and angular motion error are improved up to 0.07 ㎛ and 1.42 arcsec from the initial error of 0.32 ㎛ and 4.14 arcsec, The practical machining process is performed by an unskilled person after he received a preliminary training in machining. Experimental results show that the corrective machining algorithm is very effective and easy to use to improve the accuracy of hydrostatic tables.
#Hydrostatic table #Corrective machining algorithm #Transfer function #Motion error #Rail form error #Experimental verification

목차

ABSTRACT
1. Introduction
2. Experimental Set up and Method
3. Experimental verification of the algorithm
4. Conclusions
Acknowledgement
References

참고문헌 (4)

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[학술지(정기간행물)] - / 2003. / Theoretical Verification on the Motion Error Analysis Method of Hydrostatic Bearing Tables Using a Transfer Function 4 (2) : 64 ~ 70 google schola [학술지(정기간행물)] - / 2003. / Experimental Verification on the Motion Error Analysis Method of Hydrostatic Bearing Tables Using a Transfer Function 4 (2) : 57 ~ 63 google schola [학술지(정기간행물)] - / 2002. / Corrective Machining Algorithm for Improving the Motion Accuracy of the Hydrostatic Tables 19 (6) : 62 ~ 70 google schola [학술지(정기간행물)] - / 2000. / Development of a Submicron Order Straightness Measuring Device 17 (5) : 124 ~ 130 google schola

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