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학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제22권 제10호
발행연도
2005.10
수록면
195 - 201 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

로렌츠 힘을 이용한 평면구동형 마이크로 광스위치
고종수 ,  한정삼 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2005.10 학술저널

2002

로렌츠 힘을 이용한 평면구동형 마이크로 액츄에이터
고종수 ,  이대식 ,  이명래 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2002.05 학술대회자료

초록· 키워드

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A laterally driven electromagnetic microactuator (LaDEM) is presented, and a micro-optical switch is designed and fabricated as a possible application. LaDEM provides parallel actuation of the microactuator to the silicon substrate surface (in-plane mode) by the Lorentz force. Poly-silicon-on-insulator (Poly-SOI) wafers and a reactive ion etching (RIE) process were used to fabricate high-aspect-ratio vertical microstructures, which allowed the equipment of a vertical micro mirror. A fabricated arch-shaped leaf spring has a thickness of 1.8 ㎛, width of 16 urn, and length of 800 ㎛. The resistance of the fabricated structure for the optical switch was approximately 5 Ω. The deflection of the leaf springs increases linearly up to about 400 mA and then it demonstrates a buckling behavior around the current value. Owing to this nonlinear phenomenon, a large displacement of 60 ㎛ could be measured at 566 mA. The displacement­load relation and some dynamic characteristics are analyzed using the finite element simulations.
#MEMS(미세기전시스템) #Electromagnetic(전자기형) #Actuator(액츄에이터) #Lorentz Force(로렌츠힘) #Optical Switch(광 스위치) #Finite Element Simulation(유한요소해석)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 구동 원리
3. 광스위치 제작
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
후기
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