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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.5
수록면
3,315 - 3,319 (5page)

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The interferometer method with nano-scale spatial resolution has been developed in this study. To enhance tile accuracy of the previous developed method, tile 14 bit cooled CCD camera with 1280 by 980 spatial resolution was applied to tile measurement. And optical alignment has been carried out on tile highly accurate position sensors with 500㎚ resolution so as to be able to calibrate the detected interference image with the field of view. Also the measurements were applied to the ultra thin oil film between tile Al coated cylinder mirror with 38.1 ㎜ radius and 0.5㎜ cover glass to verify the developed method. The measured result showed the good agreement with he used cylinder curvature with ±5.18㎚ uncertainty.
#Optical interferometry(광 간섭) #lubricant film thickness(유막 두께)

목차

Abstract
1. 서론
2. 이론
3. 장치구성 및 측정
4. 결론
후기
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