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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.8 No.2
발행연도
2007.4
수록면
14 - 19 (6page)

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Angle sensors based on the principle of autocollimation, which are usually called autocollimators, can accurately measure small tilt angles of a light-reflecting flat surface. This paper describes a prototype micro-angle sensor that is based on the laser autocollimation technique. The new angle sensor is compact and consists of a laser diode as the light source and a quadrant photodiode as a position-sensing device. Because of its concise design, the micro-angle sensor facilitates dynamic measurements of the angular error motions of a precision stage without influencing the original dynamic properties of the stage. This is because the sensor only requires a small extra target mirror to be mounted on the stage. The sensitivity of the angle detection is independent of the focal length of the objective lens; therefore, an objective lens with a relatively short focal length is employed to reduce the size of the device. The micro-angle sensor uses a single lens for the both the laser collimation and focusing, which distinguishes it from the conventional laser autocollimation method that has separate collimate and objective lenses. The new micro-angle sensor has dimensions of 15.1 × 22.0 × 14.0 ㎜ and its resolution is better than 0.1 arc-second. The optical design and performance of this micro-angle sensor were verified by experimental results.
#Angle measurement #Micro-angle sensor #Laser autocollimation

목차

1. Introduction
2. Principle of Angle Detection
3. Simulations
4. Experiments
5. Conclusions
ACKNOWLEDGEMENT
REFERENCES

참고문헌 (19)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - / 1970 / Foundations of Mechanical Accuracy google schola 2. [학술지(정기간행물)] - / 2004 / A precision angle sensor using a multi-cell photodiode array 53 (1) : 425 ~ 428 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - / 1994 / Handbook of Dimensional Measurement google schola 4. [학술지(정기간행물)] - / 2000 / Angle metrology of dispersion prisms 49 (1) : 415 ~ 418 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - / 2002 / A novel technique for calibration of polygon angles with non-integer subdivision of indexing table 26 (4) : 412 ~ 424 google schola

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