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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2005.10
수록면
217 - 220 (4page)

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2006

펨토초 레이저를 이용한 형상 측정용 비동일 광경로 저결 맞음 간섭계
오정석 ,  김승우 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2006.09 학술저널

2005

펨토초 레이저를 이용한 비동일 광경로 저결맞음 간섭계
오정석 ,  김승우 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료

초록· 키워드

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We discuss two possibilities of using femtosecond pulse lasers as a new interferometric light source for enhanced precision surface profile metrology. First, a train of ultra-fast laser pulses yields repeated low temporal coherence, which allows performing unequal-path scanning interferometry that is not feasible with white light. Second, high spatial coherence of femtosecond pulse lasers enables to test large size optics in non-symmetric configurations with relatively small size reference surfaces. These two advantages are verified experimentally using Fizeau and Twyman-Green type scanning interferometers.
#Femtosecond laser(펨토초 레이저) #Low-coherence interferometry(저결맞음 간섭계) #Repetition rate(반복율) #Fringe peak(위상정점) #Envelope peak(가시도 정점)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 펨토초 레이저의 특성
3. 펨토초 레이저를 이용한 비동일 광경로 저결맞음 간섭계
4. 실험결과 및 분석
5. 결론
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