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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.5
- 수록면
- 505 - 506 (2page)
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Size reduction of micro-aperture using additional deposition is presented in this study. PECVD process was used for additional deposition. Rate of deposition is different with deposition direction because corners of shadowmask membrane have a taper. Deposition into backside showed better than de ... 전체 초록 보기
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험
3. 구멍크기감소
4. 결론
참고문헌
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