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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.5
수록면
459 - 460 (2page)

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Electron beam manufacturing system can be used to make patterns that are smaller than can a photolithography. In this system, High voltage generator is a fundamental element for stable beam. We used high voltage with transformer. However, this instrument has several problems (for e ... 전체 초록 보기
#Electron Beam Manufacturing System(전자빔 가공기) #High Voltage Generator(고전압 발생기) #High Voltage Control(고전압 제어)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 전자빔의 발생과 빔의 이동 경로
3. 고전압 발생을 위해 제어 회로 설계
4. 결론
참고문헌

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