Digital Micromirror Device를 이용한 3차원 마이크로구조물 제작

최재원; 하여명; 이석희; 최경현

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자료유형: 학술저널

저자정보: 최재원 하여명 이석희 최경현

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.23 No.11

발행연도: 2006.11

수록면: 116 - 125 (10page)

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MEMS and LIGA technologies have been used for fabricating microstructures, but their shape is not 3D because of difficulty for preparation of many masks. To fabricate 3D microstructures, micro stereo lithography technology based on Digital Micromirror Device(DMD™) was introduced. It has no need of masks and is capable of fabricating high aspect ratio microstructures. In this technology, STL file is the standard format as the same of conventional rapid prototyping system, and 3D parts are fabricated by layer-by-layer according to 2D section sliced from STL file. The UV light source is illuminated to DMD which makes bitmap images of2D section, and they are transferred and focused on resin surface. In this paper, we addressed optical design of microstereolithography system in consideration of light path according to DMD operation and image-forming on the resin surface using optical design program. To verify the performance of implemented microstereolithography system, 3D microstructures with complexity and high aspect ratio were fabricated.

#Microstereolithography(마이크로광조형) #Digital Micromirror Device(디지털 마이크로미러 장치, DMD) #Microstructure(마이크로구조물) #UV curing(자외선 경화)

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