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1. 서론
2. 변위 측정
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4. 표면측정
5. 결론
참고문헌
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A study on the optical measurement using rapid delay line
Proceedings of KIIT Conference
2006 .06
광계측 기반기술 발전현황
전기의세계
2001 .01
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한국통신학회지(정보와통신)
1994 .07
Precision Optical Measurement using Femtosecond Lasers
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신뢰성 보장을 위한 수동형 광소자의 시험인증 및 광계측 시스템
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2002 .10
The Status and Challenge of the Metrology and Inspection Technology in Semiconductor Fabrication: A Tutorial
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