2단계 모세관 리소그라피 기술을 이용한 마이크로/나노 병합구조물 공정 기술 및 수학적 모델을 통한 표면 특성 분석

서갑양; 정훈의; 이성훈; 김재관

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 서갑양 정훈의 이성훈 김재관

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문요약집

발행연도: 2005.10

수록면: 285 - 287 (3page)

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2005

2 단계 모세관 리소그라피 기술을 이용한 마이크로/나노스케일 복합 구조의 제조 및 표면 특성 분석

서갑양 , 정훈의 , 이성훈 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2005.11 학술대회자료

2단계 모세관 리소그라피 기술을 이용한 마이크로/나노 병합구조물 공정 기술 및 수학적 모델을 통한 표면 특성 분석

서갑양 , 정훈의 , 이성훈 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료

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A simple method for fabricating micro/nanoscale hierarchical structures is presented using a two-step temperaturedirected capillary molding technique. This lithographic method involves a sequential application of molding process in which a uniform polymer-coated surface is molded with a patterned mold by means ... 전체 초록 보기

#Micro/nanscale hierarchical structures(마이크로/나노 병합구조) #Capillary lithography(모세관리소그라피) #Contact angle(접촉각) #Wettability(소수성/친수성)

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