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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2004.10
수록면
1 - 4 (4page)

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This paper describes the mechanism of parallel micro machine platform and its feedback control system for acquiring high accuracy. The parallel micro machine platform that has developed has 5x5x5 work-space and sub-micron accuracy. For the high accuracy, the feedback control system is important but errors in machining and assembling are inevitable. Kinematic calibration is important for this reason. In this paper, various error components are introduced and the effects of error component are analyzed.
#Parallel mechanism(병렬기구) #Dual stage system(이중 스테이지 시스템) #Error component(오차인자) #Kinematic calibration(기구학적 보정)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 마이크로 병렬기구 플랫폼의 기구구조
3. 피드백 제어시스템의 기구구조
4. 오차인자의 영향
5. 결론
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