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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2004.10
수록면
137 - 140 (4page)

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As the demands of X-Y linear motors increase, it becomes very important to measure flatness errors and to compensate them. In this study, in order to investigate flatness errors, a laser interferometer is used for measurement. To improve the measurement efficiency, a Union Jack method is adopted instead of a square method. The square method is frequently used because of its accuracy, but it requires many measurement points. In this study, the Union Jack method with Grey Theory is used. By using the Grey Theory, unmeasured data are predicted, and these are compared with results of the square method. The results show that the Union Jack method with Grey Theory is accurate enough to replace the square method.
#리니어모터(Linear Motor) #레이저간섭계(Laser Interferometer) #평면도(Flatness) #그레이 이론(Grey Theory) #유니언잭 방법(Union Jack Method) #정사각형법(Square Method)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 레이져 간섭계를 이용한 평면도 측정
3. 그레이 이론
4. 결론
5. 참고문헌

참고문헌 (0)

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