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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.10
수록면
547 - 548 (2page)

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#Metrology frame #Micro/Meso-scaled Machine #Kinematics #Error Analysis

목차

1. Metrology Frame
2. Metrology Frame 의 기구학 해석
3. Error Analysi 와 Simulation s
4. Sensor 와 Tool Setting Station
5. 결론
후기
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