반도체 검사용 집속형 초음파 탐촉자 개발

이순흠

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이순흠

저널정보: 한국정보기술학회 한국정보기술학회논문지 韓國情報技術學會論文誌 제4권 제6호

발행연도: 2006.12

수록면: 27 - 30 (4page)

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본 논문에서는 반도체와 같이 정밀한 검사체를 검사하기 위해 사용될 수 있는 집속형 초음파 탐촉자를 개발하였다. 이런 용도의 탐촉자에는 구형곡률을 갖는 원형 디스크 진동자를 사용하는 것이 효과적이다. 본 논문에서는 PVDF를 사용하여 진동자를 제작했으며 반도체 검사용으로 적합하도록 탐촉자의 설계 사양을 공칭 주파수 110MHz, 진동자의 반경3 mm, 곡률반경이 8 mm으로 하였다. 제작된 탐촉자들의 특성을 나타내는 초음파 R/F 신호의 시간영역 신호 파형과 최대/중심 주파수는 측정결과는 모두 반도체 검사에 사용될 수 있는 범위에 합격하였다. 그러나 합격된 탐촉자 중 성능에 문제가 있는 탐촉자가 발견될 수 있음을 보였고, 이는 초음파 R/F 신호의 시간영역 신호 파형과 최대/중심 주파수가 절대적인 탐촉자 성능 평가 기준이 될 수 없음을 보였다.

#Spherically curved circular disc oscillator #Nondestructive Testing System

참고문헌 (6)

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1. [학술지(정기간행물)] - Albert S Birks / 1991 / Nondestructive Testing Handbook. / American Society for Nondestructive Testing

2. [학술지(정기간행물)] - V.E.Panhuise / 1984 / The Implementation of a Computerized Ultrasonic Scan System / Material Evaluation : 231 ~ 238

3. [학술지(정기간행물)] - J.L. Rose / 1980 / Microprocessor Utilization in Ultrasonic Nondestructive Inspection System. / Material Evaluation : 66 ~ 76

4. [학술지(정기간행물)] - G.P. Singh / 1990 / Fundamentals of Data Acquisition for Nondestructive Evaluation. Material Evaluation : 1341 ~ 1347

5. [단행본] - Jiosef Krautkramer / 1983 / Ultrasonic Testing of Materials / Springer-Verlag, New Nork

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이순흠

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