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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제30회 학술논문발표회 초록집
발행연도
2006.2
수록면
112 - 112 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

RF-O₂ Plasma 처리한 MgO 박막의 스퍼터링 수율 측정
정원희 ,  정강원 ,  임연찬 외 6명 Applied Science and Convergence Technology 2006.05 학술저널
집속이온빔 장치를 이용한 RF O₂ -Plasma 처리한 MgO 보호막의 스퍼터링 수율 측정
정원희 ,  손창길 ,  정강원 외 7명 한국진공학회 학술발표회초록집 2006.02 학술대회자료

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