PSII(plasma source ion implantation)법을 이용하여 이온주입 된 금속박막층과 유연성기판 사이에 대한 연구

조본구; 이택영; 김용진

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 조본구 이택영 김용진

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제29회 학술발표회 초록집

발행연도: 2005.8

수록면: 189 - 190 (2page)

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2005

PSII(plasma source ion implantation)법을 이용하여 이온주입 된 금속박막층과 유연성기판 사이에 대한 연구

조본구 , 이택영 , 김용진 한국진공학회 학술발표회초록집 2005.08 학술대회자료

Plasma Source Ion Implantation 법을 이용한 금속 박막층과 Polyimide 계면 사이에 관한 연구

조본구 , 이택영 , 김용진 한국재료학회 학술발표대회 2005.01 학술대회자료

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조본구

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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이택영

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 1 이용수 23

김용진

소속기관 고려대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학

논문수 14 이용수 593

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