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한국자동차공학회 한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집 한국자동차공학회 2006년 춘계학술대회 논문집 Vol. I
발행연도
2006.6
수록면
509 - 513 (5page)

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In this paper, we report design, fabrication and characterization of a MEMS based particle detection chip for real time monitoring of engine exhaust gas. The chip is designed on the basis of aerosol technology and is realized using micromachining processes. The complete device is composed of two parts, one is a micro virtual impactor for the classification of particles according to their sizes and the other is a micro corona discharger for measuring the particle concentration. The integrated chip is used for classifying bigger and smaller size particles and finally determining the number concentration by measuring the current carried by charged particles. In this experiment, the cut-off diameter of the particle was 550 ㎚. Since conventional particle detection equipments are relatively big in size and expensive as well, the proposed device will be the first step to the realization of low-cost and real-time PM₁ monitoring.
#Corona discharger(코로나방전기) #Virtual impactor(가상임팩터) #MEMS(멤스) #PM(입자상물질) #Real-time(실시간)

목차

Abstract
1. 서론
2. 설계
3. 소자제작
4. 실험결과
5. 결론
6. 후기
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