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대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제43권 제6호
발행연도
2006.6
수록면
18 - 22 (5page)

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묽은 n-octadecyltrichlorosilane를 여러 가지 비율로 섞어 만든 유기물에 따라 처리된 SiO₂ 절연막의 특성에 대하여 분석하고 펜타센 증착 표면에 생긴 그레인 크기 사이의 상관관계를 조사하였다. 전압-전류 특성 곡선에 의한 누설전류의 증가량이 유기물 처리 농도에 따라 비례적으로 증가하지 않았으며, 0.3 % 처리 농도에서 누설전류가 가장 작게 나타났다. 0.3 % 처리 농도의 SiO₂ 절연막은 유무기 복합적인 하이브리드 특성을 나타내고 있으며, 펜타센이 증착된 후 표면 사진에서 그레인 크기가 가장 작게 성장된 것을 확인하였다. 반면에 유기물 특성의 절연막 혹은 무기물 특성의 절연막 위에서 펜타신 물질이 증착후 그레인 크기는 점점 증가하였다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결론
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