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대한설비공학회 대한설비공학회 강연회 및 기타간행물 대한설비공학회 1992年度 국제 클린룸 기술 심포지움
발행연도
1992.6
수록면
72 - 100 (29page)

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본 고에서는 공업용 클린룸 시스템의 기본계획과 시공 및 유지관리에 관하여 실예를 중심으로 언급하고 있으며, 그 내용을 요약하면 다음과 같다.
1. 공업용 클린시스템의 기본계획
여기서는 공업용 클린룸을 난류방식과 층류방식으로 분류하고 층류방식의 전면시스템 천장방식, 클린터널방식, 오픈모듈방식 등에 관한 시공예 및 주의 사항에 대하여 논하고 있다.
각 공조시스템별 주의사항으로는 난류방식의 경우, 시공시부터 분진의 유입방지, 내장재의 검토, 기류분포(기류 정체역의 배제) 등에 세심한 배려가 필요하며, 그리고 층류방식인 전면시스템 천장방식에는 ①반입자재의 관리부터 현장내 청소 등의 클린화, ②소음원과 클린룸의 배치관계에 따른 소음 대책, ③기계설과 클린룸사이의 방진대책, ④클린룸에 물이 흘러들지 않는 구조 등에 대한 검토가 언급되고 있다.
클린터널방식에서는 ①팬유니트의 방진대책, ②장치배치의 결정을 최우선으로 검토, ③유지관리를 위한 면적을 확보하여 유틸리티 취급검토에 주의해야 하며, 오픈모듈방식에서는, ①기류편차에 대한 대책 (바닥셔터, 플레넘챔버내의 버플판), ②생산장치로 부터의 발열대책 (국소배기의 검토)에 대하여 언급하고 있다.
2. 시공
클린룸의 시공에 대하여는 시공관리, 공정관리, 품질관리상의 주요사항에 관하여 실예를 중심으로 서술하고 있다.
우선 시공관리에 관하여는 시공요령의 작성, 클린업 계획의 작성, 안전작업 확보, 유지관리 공간의 확보, 생산장비 반입루트의 확보 등을 주요사항으로 들고 있으며, 공정관리에 있어서는 동일 구역내에서의 시간차 시공의 조정, 시운전 시간의 확보, 생산장치 반입시기 및 조건의 확인에 관하여 언급하고 있다. 그리고 품질관리상의 주요 사항으로 클린룸의 기밀성 확인, 층류의 확보(유인형상 방지), 정전기에 대한 고려, 검수기준의 확인 등에 대하여 서술하고 있다.
3. 유지감리
클린룸의 유지관리에서는, 클린룸의 4대원칙중 분진의 유입방지 및 축적방지를 위한 구체적인 방법(클린룸에의 입퇴실 방법, 청소방법 및 빈도)을 설명하고 있으며, 또한 설비유지에 관한 사항으로 정기점검 항목 및 빈도와 구성부재의 기능열화에 관하여 서술하고 있다.
그리고 끝으로 클린룸 의식에 관한 사항으로 정기적인 청정도의 점검, 신규 입실자에의 클린룸 교육, 정기적인 청소, 설비점검, 데이타 수집에 의한 유지관리 계획 등을 언급하고 있다.

목차

[번역문] 클린룸의 시공ㆍ유지감리

[번역문] Construction and Maintenance in Clean Rooms

[원문] クリ―ンル―ムの施工と維持監理

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