우리나라 클린룸의 보급현황 및 기술수준

손장열; 이춘식

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 손장열 이춘식

저널정보: 대한설비공학회 대한설비공학회 강연회 및 기타간행물 대한설비공학회 1992年度 국제 클린룸 기술 심포지움

발행연도: 1992.6

수록면: 36 - 71 (36page)

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According to the development of technology proceeding in cleanroom, lately, the demand of high-technology is confornted and the buildings incline to complexity, automation and information. Especially, the cleanroom influenced by architectural environment and equipment technology is basic technology against elevation of foregin competitive power in the related industrial fields. The recent cleanroom required super clean space is necessary in many fields like semi-conductor, new material, electronic, precise machine, space aviation industustry, heredity engineering, medical treatment, and manufactureof medicines fields. To be confronted the demands for various kinds of industrial fields, so to develop the related technology, design and construction technology of clean room on the side of architectural concept, it is needed to grasp the level of related technology and development-status in the present clean room.
In this paper, it is introduced the research activities, establishment of standard for clean room and experimental clean room with state-of-the-art of clean room facilities. And running parallel with the study of the performance test of semi-conductor factory in domestic, the characteristics of air conditioning load, and the plan of energy saving, it is showed the direction of design and construction technology of clean room in future.

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