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대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2005년도 하계학술발표대회 축열, 축냉 특별세션
발행연도
2005.6
수록면
36 - 40 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

반도체 공정에서 수축열시스템 적용사례
강한기 ,  정진우 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2005.06 학술대회자료
반도체 공정에서 수축열시스템 적용사례
강한기 ,  정진우 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2005.06 학술대회자료

초록· 키워드

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The almost researches for TES(thermal energy storage system) were implemented to air conditioning system of the office or commercial buildings. The cooling processes in the industrial facilities were usually done by the electrical chiller. If the supply of cooling water is interrupted or the supply water temperature is not constant to the equipments, it will cause the increase of defective products and pause of production. In other words, it will cause the tremendous commercial loss. Especially, in case of the semiconductor production equipments, the reliability of cooling process is important because the precision and temperature sensibility of products is very high. The difference of power consumption between on-peak time and off-peak time became severe because the electrical chiller in the industrial facility use the industrial electric power which accounts for 51% of total power consumption, at the peak time. To solve this unbalance problem of power consumption, a lot of the national policies are being considered. As one of the solutions for above mentioned problem, this thesis show chilled water storage system application to the semiconductor production process which has a good cooling reliability and very low operation cost. The chilled water storage system improves the reliability of equipments and saves the operation cost, so the investment cost has been recovered in just 2 years. Also, Free Cooling System has an effect on saving additional operation cost of about 130,000,000 Won and improvement of durability.

목차

ABSTRACT

1. 서론

2. 본론

3. 결론

참고문헌

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