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전자선 증착기를 이용하여 1.3 ㎛ 중심 파장의 파브리-페로 에탈론을 Al₂O₃와 a-Si 박막 쌍으로 증착하였다. 제작된 에탈론의 투과율 및 반사율 스펙트럼을 측정하여, 공진 파장에서 투과 반치폭이 ~12.1 ㎚이며 피네세(finesse) 값은 53임을 알았다. Al₂ ... 전체 초록 보기
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 유전체 박막 에탈론의 구성과 제작
Ⅲ. 유전체 박막 에탈론의 측정
Ⅳ. 결론
참고문헌
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