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본 논문에서는 은-산화막-은 구조의 박막형 에탈론 기반의 투과형 컬러필터를 제안하고 구현하였다. 제안된 박막형 소자는 전자빔 리소그래피 방식에 비해 넓은 유효면적을 갖고 적외선 대역에서의 차단 특성이 우수하다. 또한 금속의 분산특성 및 두께 그리고 기판의 영향 등을 고려하기 위하여 FDTD 방법을 도입함으로써 제안된 소자를 설계 및 분석하였다. 설계된 청색, 녹색, 적색 필터 소자의 산화막 캐비티 두께는 각각 100, 130, 160 ㎚였으며, 은 박막의 두께는 25 ㎚였다. 얻어진 측정결과를 살펴보면, 중심파장은 각각 480, 555, 650 ㎚, 대역폭은 각각 약 120, 100, 120 ㎚였으며 투과율은 약 60%였다. 그리고 빔의 입사각에 대한 상대적인 투과율 변화율은 ~1%/degree 였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 제안된 소자의 동작원리 및 설계
Ⅲ. 소자 제작 및 특성 측정
Ⅳ. 결론
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