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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제9권 제4호
발행연도
1999.8
수록면
203 - 209 (7page)

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CoCrTa/Cr 자성박막의 Cr 하지층에 Mo와 Si을 첨가하여 제조한 박막의 자기적 성질에 미치는 Mo와 Si의 영향에 대하여 조사하였다. 증착시 사용된 장비는 DC magnetron sputtering system이었고, CoCrTa 자성층의 두께는 300 Å으로 Cr 하지층의 두께는 700 Å으로 고정하였으며 기판의 가열온도는 260 ℃이었다. CrMo 하지층의 박막이 순수한 Cr 하지층에 비하여 약 200 Oe의 보자력 증가를 나타내었다. 하지만 Si을 첨가하였을 경우엔 첨가량의 증가에 따라 보자력이 점차 감소하는 것으로 나타났다. CrMo 하지층에서는 Mo를 첨가함에 따라 Cr 하지층의 (200)면의 결정배향성이 증가하였고, Mo를 첨가한 Cr(200)면과 CoCrTa(1120)의 lattice misfit가 Si을 첨가한 경우보다 작았고, 이것이 보자력 증가의 원인이었다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험방법

Ⅲ. 실험결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

감사의 글

참고문헌

Abstract

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