CoCrTa / Cr - X 자성박막의 자기적성질에 미치는 첨가원소 X의 영향

김준학; 박정용; 남인탁; 홍양기

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김준학 박정용 남인탁 홍양기

저널정보: 한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제3권 제4호

발행연도: 1993.12

수록면: 314 - 319 (6page)

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Co-12at%Cr-2at%Ta / Cr-X 자성박막의 자기적성질과 미세구조에 마치는 첨가원소 X(X=Si, Mo, Cu, Gd)의 영향에 대해 조사하였다. Cr-X 하지층 및 CoCrTa 자성층의 두께는 각각 1000~2000 Å과 200~800 Å이었으며, 기판온도는 100~200 ℃로 변화시켰다. Cr-X 하지층은 순수한 Cr 하지층에 비하여 보자력이 100 Oe~200 Oe 이상 증가하였다. Cu는 Gd, Mo, Si보다 높은 보자력을 나타내는 Cr-X 하지층의 첨가원소 였으며 CoCrTa / Cr-Cu 자성박막은 하지층두께 1500 Å과 자성층두께 600 Å에서 높은 보자력을 나타내었다.

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