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한국유체기계학회 한국유체기계학회 학술대회 논문집 유체기계공업학회 2001 유체기계 연구개발 발표회 논문집
발행연도
2001.12
수록면
381 - 386 (6page)

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This paper reports on the development of micro power system under way at Seoul National University. The interdisciplinary team consists of members with various backgrounds of mechanics and materials. The need for micro power systems is explained, and a turbine under development is described. Design, and fabrication are introduced, and technical challenges in each phase are described. Furthermore, the interaction between the available fabrication methods and design is explained Design involves use of commercially available codes to analyze flow fields, and fabrication takes advantage of the silicon wafer etching processes used to manufacture semiconductor devices.

목차

ABSTRACT

1. 서론

2. 터빈설계

3. 공정

4. 시험 장치 설계

5. 결론

참고 문헌

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