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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2002.12
- 수록면
- 1,639 - 1,645 (7page)
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Micro engine that includes Micro scale combustor is fabricated. Design target was focused on the observation of combustion driven actuation in MEMS scale. Combustor design parameters arc somewhat less than the size recommended by feasibility test. The engine st겨cture is fabricated by isotropic etching of the photosensitive glass wafers. Electrode formed by electroplating of the Nickel. Photosensitive glass can be etched isotropically with almost vertical angle. Bonding and assembly of structured photosensitive glass wafer form the engine. Combustor size was determined to be I mm scale. Movable piston is engraved inside the wafer. Ignition was done by nickel spark plug which was electroplated with thickness of 40 ㎛. The wafers were bonded by epoxy that resists high temperature. In firing test due to the bonding method and design tolerance pressure buildup by reaction was not con finned. But ignition, flame propagation and actuation of micro structure from the reaction was observed. From the result basement of design and fabrication technology was obtained.
목차
Abstract
1.서론
2.미세 엔진의 제작
3.제작 결과 및 테스트
4.결론
참고문헌
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