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본 연구에서는 생체 내부의 압력을 측정하기 위하여 Si를 얇은 막으로 사용한 FFPI(fiber optic Fabry-Perot interferometer) 압력센서를 개발하였다. 얇은 Si 막과 Si 막의 비등방 지지 구조물은 수산화 칼륨 수용액에서의 식각과 미세가공 기술로 제작하였다. 센서의 구조는 두 반사막 사이의 길이가 15 ㎜이며 수직 전달된 센서의 끝단은 두께 50 ㎛의 얇은 Si 막에 연결하였다. 얇은 Si 막의 면적이 2×2 ㎟인 압력센서의 경우 압력감도는 ~1.5 degree/kPa였다. 본 연구에서 제작한 압력센서는 80 kPa의 압력 범위 내에서 압력 증가에 따라 비교적 선형적인 위상변화를 보였다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. FFPI 압력센서
Ⅲ. 결과 및 결론
감사의 글
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Abstract
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UCI(KEPA) : G300-j12256285.v12n6p463