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한국분석과학회 분석과학 분석과학 제12권 제5호
발행연도
1999.10
수록면
415 - 420 (6page)

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칼라필터의 Black Matrix(BM)의 표면에 발생하는 잔사의 양을 Atomic Force Microscopy(AFM) 측정 결과에 의해 얻어진 히스토그램을 사용하여 정량화하였다. 히스토그램을 free BM 표면(1)과 잔사(2)에 해당하는 두 개의 Gaussian 함수로 분리하고 각 분포의 면적(a₁, a₂)을 계산하여, 잔사가 차지하는 면적비(a₂/(a₁+a₂))를 계산하였다. 또한, free BM 표면에 대한 Gaussian 함수로부터 free BM 표면내에 또 다른 잔사가 존재하고 있음을 알 수 있었다. 이것의 경우에는 잔사의 양을 정확하게 수치적으로 정량화는 할 수 없지만, 분포의 평균값과 표준 편차로부터 정성적인 결과를 얻을 수 있다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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