A study on the Thermally Stable Tungsten bit - line Process technology for ULSI device

나사균; 이원준

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 나사균 이원준

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제20회 학술발표회초록집

발행연도: 2001.2

수록면: 151 - 151 (1page)

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이원준

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018035709

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