ULSI용 Cu 박막의 미세조직 연구

박윤창 ,  송세안 ,  윤중림 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

TiSi₂박막의 ULSI소자에의 응용

김영욱

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Ultrathin Gate Oxide for ULSI MOS Device Applications

황현상

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

A study on the Thermally Stable Tungsten bit - line Process technology for ULSI device

나사균 ,  이원준

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

High power impulse magnetron sputtering for obtaining cubic aluminum nitride on aluminum

De-Chiuan LIOU ,  Man-Jia PO ,  Min-Yi CHEN 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Magnetic Properties and Magnetocaloric Effect in La_1-xCe_xFe_10.5Si_2.5 (x = 0.2, 0.4, 0.6) Alloys

Wen-Zhe Nan ,  Tae-Soo You ,  Seong-Cho Yu

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2015 .05

Magnetocaloric and Critical Properties in Ni_0.5Mn_0.35Sn_0.15 Alloys

X.L. Hou ,  P. Zhang ,  T. L. Phan 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2011 .12

Enhancement of Hard Magnetic Properties of Pr₆₀Fe₃₀Al_10-x Ti_x Alloys

H.D. Anh ,  N.T.D. Thuy ,  C.X. Huu 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .05

Research for Magnetocaloric Effect on Gd_1-xDy_x Alloys

Xueling Hou ,  Xu Hui ,  Jiansen Ni 외 5명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .05

Magnetron Sputtering Technology의 연구 및 개발 방향에 대한 동향

박장식

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Magnetic Properties and Magnetocaloric effect in La_1-xNd_xFe_10.5Si_2.5 (x = 0.2, 0.4, 0.6) Alloys

Wen-Zhe Nan ,  T ,  an Dang Thanh 외 5명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2016 .05

Design of high-coercivity Fe_16-xAl_xN₂ alloy

Jinho Byun ,  Taewon Min ,  Hyoungjeen Jeen 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2017 .05

A study on the effect of Cu amount thin films prepared by magnetron sputtering with Mo-Cu single alloying target

이한찬 ,  편진호 ,  신백균 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Diagnostics of Magnetron Sputtering Plasmas : Distributions of Density and Velocity of Sputtered Metal Atoms

Koichi Sasaki

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

A Novel Large Area Negative Sputter Ion Beam Source and Its Application

Steven Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Sputter deposition of Zr-V-Fe (St707) alloy films for NEG applications

Azuma MISHIMA ,  Naoyuki HAYASAKA ,  Kei OYA 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Negative Metal Sputter (DC sputtering)를 이용하여 증착된 MgO 박막의 특성

이원정 ,  안경준 ,  여환욱 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

A study on the Ti-Al-X-N(X-Cr, Si, V and B) coatings deposited by magnetron sputtering process with single alloying targets

이한찬 ,  편진호 ,  신백균 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Surface Effects on the Ordering of A₃B Alloys

Jikeun Seo ,  Wone Keun Han

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

High coercivity Fe_16-xAl_xN₂ alloy design

Jinho Byun ,  Taewon Min ,  Jaekwang Lee

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2018 .03