CH₄ - H₂ - N₂ 기체계에서 MW - PACVD를 이용한 결정상의 합성

김도근; 백영준; 성태연

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김도근 백영준 성태연

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제17회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.7

수록면: 54 - 54 (1page)

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2000

${CH_4}-{H_2}-{N_2}$ 기체계에서 MW-PACVD를 이용한 결정상 합성

김도근 , 백영준 , 성태연 한국재료학회지 2000.01 학술저널

1999

CH₄ - H₂ - N₂ 기체계에서 MW - PACVD를 이용한 결정상의 합성

김도근 , 백영준 , 성태연 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.07 학술대회자료

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