Measurements of Bias - Potential on the Substrate in the Various Plasma Gas for Wide Bandgap Thin Film

H.C. Lee; J.H. Park; D.W. Kim; S.S. Choi

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: H.C. Lee J.H. Park D.W. Kim S.S. Choi

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제15회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1998.7

수록면: 47 - 47 (1page)

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