비휘발성 기억소자를 위한 Pt / SrBi₂Nb₂O9 / Al₂O₃ / Si 구조의 특정에 미치는 Al₂O₃ 완층층의 효과

백상열; 허재성; 탁성주; 이정섭; 최인훈

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 백상열 허재성 탁성주 이정섭 최인훈

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제28회 학술발표회초록집

발행연도: 2005.2

수록면: 108 - 108 (1page)

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