Enhanced Adhesion of Cu film on SiO2 grown by Metal Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition (MPIIID)

김태곤; 황정남; 양정수; 송종한

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김태곤 황정남 양정수 송종한

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제19회 학술발표회논문개요집

발행연도: 2000.7

수록면: 106 - 106 (1page)

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양정수

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 1 이용수 44

송종한

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 자연과학 > 화학

논문수 48 이용수 1,500

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