원격플라즈마 유기금속화학증착법에 의한 GaN 박막 성장에 미치는 rf 질소 플라즈마의 영향

손철수; 김민홍; 이재형; 허순옥; 윤의준

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 손철수 김민홍 이재형 허순옥 윤의준

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제11회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1996.6

수록면: 36 - 37 (2page)

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김민홍

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 5 이용수 96

이재형

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학 TOP 5% 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 TOP 5%

논문수 172 이용수 11,249

허순옥

소속기관 한국원자력연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 자연과학 > 화학

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윤의준

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