이온빔을 이용한 TiN 박막 합성 및 내마모특성에 관한 연구

윤주선; 한전건; 한승희

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저자정보: 윤주선 한전건 한승희

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제6회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1994.2

수록면: 53 - 54 (2page)

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