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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제6회 학술발표회논문개요집
발행연도
1994.2
수록면
136 - 136 (1page)

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1995

Ultrahigh Vacuum Chemical Vapor Deposition (UHVCVD)법에 의한 GaAs와 InGaAs 박막의 선택 에피택시
김성복 ,  박성주 ,  노정래 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 1995.09 학술저널

1994

Si₃N₄로 Pattern된 GaAs 기판위에 Ultrahigh Vacuum Chemical Vapor Deposition법에 의한 GaAs와 InGaAs의 선택 에피택시 성장
김성복 ,  노정래 ,  박성주 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1994.02 학술대회자료

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