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Korean Institute of Information Scientists and Engineers 한국정보과학회 학술발표논문집 한국정보과학회 1998년도 봄 학술발표논문집 제25권 제1호(A)
발행연도
1998.4
수록면
750 - 752 (3page)

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iQ 펌프는 반도체 제조 시에 적합한 환경인 진공상태를 유지하기 위해 사용되는 진공펌프이다. 이 펌프들의 관리를 위한 기존 시스템은 iQ 펌프와 관리 시스템, 그리고 이들을 연결하는 iQ 망으로 구성되어 있다. 그러나 기존의 관리 시스템은 iQ 망 설치시의 문제점, 기존 통신망과의 호환성 문제로 인해 원격 ... 전체 초록 보기

목차

요약

1. 서론

2. 기존 시스템

3. iQ 펌프의 원격 감시 제어

4. 결론

5. 참고 문헌

참고문헌 (0)

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