Pt/Ti 전극을 사용한 산화된 다공질 폴리 실리콘 전계방출소자의 특성

한상국; 박근용; 최시영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 한상국 박근용 최시영

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제42권 제6호

발행연도: 2005.6

수록면: 23 - 30 (8page)

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본 논문에서는 다양한 에미터 금속 재료를 이용하여 산화된 다공질 폴리실리콘(Oxidized Porous Poly-Silicon) 전계방출 소자를 제조하였으며 에미터 금속의 열처리 효과가 산화된 다공질 폴리실리콘 전계방출소자의 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 다양한 에미터 금속 중 구동전극을 가진 Pt/Ti 에미터 전극을 300 ℃-1hr 열처리한 경우 전자방출 효율은 V_(ps)=12 V에서 최대 2.98 %의 효율을 나타내었으며, 350 ℃-1hr 열처리한 경우 V_(ps)= 16 V에서 3.37 %의 가장 높은 효율을 나타내었다. 이는 열처리 공정을 통해 OPPS 전계방출 소자 표면에 다수의 결정립 경계와 무수히 많은 미세한 다공질 간의 흡착성의 개선으로 인한 면 저항 감소에 의한 것을 알 수 있다. OPPS 전계 방출 소자를 디스플레이소자로 적용하기 위해 형광체 발광 특성을 조사해 본 결과, 900 ℃-50min 산화 후 Pt/Ti(5nm/2nm) 에미터 전극을 사용하여 제조된 OPPS 전계 방출 소자의 경우 15 V에서 3600 cd/㎡, 20 V에서 6260 cd/㎡의 상대적으로 높은 휘도를 나타내었다. 열처리는 Ti층과 OPPS 간의 흡착성을 개선시키고 에미터 전극에 고른 전계를 가하는 중요한 역할을 한다.

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[학술지(정기간행물)] - C. A. Spindt / 1976. / Physical properties of thin-film field emission cathodes with molybdenum cones 47 : 5248 ~ 5263

[학술지(정기간행물)] - Kusunoki. T / 2000. / Increasing emission current from MIM cathodes by using an Ir-Pt-Au multilayer top electrode : 1667 ~ 47 1672

[학술지(정기간행물)] - S. Uemura / 2002. / Large Size FED with Carbon Nanotube Emitter : 1132 ~

[학술지(정기간행물)] - N. Negishi / 1997. / High Efficiency Electron-Emission in Pt/SiOx/Si/Al Structure 36 : 939 ~

[학술지(정기간행물)] - M. Okuda / 1998. / Electron Trajectory Analysis of Surface Conduction Electron Emitter Displays : 185 ~

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