4-bit 디지털 미소분사기의 설계변수와 토출성능간의 영향분석에 관한 실험적 연구

강태구; 조영호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 강태구 조영호

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제29권 제3호

발행연도: 2005.3

수록면: 418 - 424 (7page)

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We present the design, fabrication and experimental results of 4-bit digital microinjetors, whose ejected droplet volumes are adjusted by the digital operation of a 4-bit microheater array. We design the reference microinjectors as well as its comparative test structures. In the fabrication process, we use a five-mask micromachining process and the total chip size of the fabricated microinjector is 7,640㎛×5,260㎛. We measure the ejected droplet volumes and velocities, which are adjusted from 12.1±1.0∼55.6±4.7pl and 2.3±0.1∼15.7±0.8m/s, respectively, depending on the 15 possible combinations of 4-bit microheater array. We also experimentally characterize the effect of geometric variation including the microheater size, inter-microheater gap, microchannel width and sequential operation of microheater array on the ejected droplet volume and velocity. Among these parameters, we find that the icroheater size is the most dominant parameter affected to the ejected droplet volumes and velocities. Thus, the present microinjector has a potential for application to the high-resolution inkjet printers with multiple gray levels or high-precision fluid injectors with variable volume control.

참고문헌 (7)

참고문헌 신청

Tseng, F -G, Kim, C -J and Ho, C -M, 1998, "A Novel Microinjector with Virtual Chamber Neck," Proc MicroElectroMechanical System IS Workshop (MEMS'99), Heidelberg, Germany, pp 57~62

Lee, S -W, Kim, H -C, Kuk, K K and Oh, Y -S, 2001, "A Monolithic Inkjet Print Head DomeJet," Proc Proc MlcroElectroMechanical Systems Workshop (MEMS2001), Interlaken, Switzerland, pp. 515~518

Temple, S, 1999, "Advances in Piezo Ink Jet Greyscale Technology," Proc 7th Annual European Ink Jet Printing Conference, Barcelona, Spam

Kang, T G and Cho, Y -H, 2003, "Droplet Volume Adjustable MicroinJectors Using a Microheater Array," Proc MicroElectroMechanical Systems Workshop (MEMS 2003), Kyoto, Japan, pp 690~693

Kang, T G and Cho, Y -H, 2003, "Droplet Volume Adjustable Digital Microheators Using a Microheater Array," Proc 5th Korean MEMS Conference (KMEMS 2003), JeJu, Korea, pp 271~276

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