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한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2003년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2003.11
수록면
166 - 169 (4page)

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For optimal design of micro stage, we measured the displacement of piezoelectric transducer that was based on voltage value. And the micro stage was analyzed using FEM with displacement data including voltage value of piezoelectric transducer. For verification of analysis results, the displacements were measured by using Laser-interferometer. And researchers confirmed to propriety on design of micro stage with FEM, we obtained 3.5% en-or rate between measurement results and analyzing results.

목차

Abstract

1. 서론

2. FEM 해석 및 실험

3. 결론

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